顯微分光膜厚儀采用檢量線法和FP法，可防止在對焦時造成的損壞

更新時間：2023-02-06

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　　顯微分光膜厚儀利用光學干涉儀和自有的高精度分光光度計，實現非接觸、無損、高速、高精度的薄膜厚度測量。光學干涉測量法是一種使用分光光度計的光學系統獲得的反射率來確定光學膜厚的方法。以涂在金屬基板上的薄膜為例，從目標樣品上方入射的光被薄膜表面（R1）反射。此外，穿過薄膜的光在基板（金屬）和薄膜界面（R2）處被反射。測量此時由于光程差引起的相移所引起的光學干涉現象，并根據得到的反射光譜和折射率計算膜厚的方法稱為光學干涉法。

　　顯微分光膜厚儀的作用特點：

　　1、自動對焦作用。配備激光自動對焦作用，能夠準確對焦，提高量測效率。

　　2、具有焦點距離切換作用，適用于有凹凸的機器部件與電路板的底部進行量測

　　3、膜厚儀采用檢量線法和FP法，兩個準直器可自動切換，采用激光自動對焦，并配備有Z軸防沖撞傳感器，可防止在對焦時造成的損壞。

　　4、選用Mo靶材X射線管，量測貴金屬更靈敏。

　　5、膜厚儀支持多種語言的軟件系統。簡體中文、繁體中文、英語、日語、韓語

　　6、搭載樣本尺寸的兼容性可適用于各種樣本，能夠通過一臺儀器量測，從電子部件、電路板到機器部件等高度較高的樣本，從較厚的樣本(機器零部件)之大型線路板(PCB)及電子元器件等

　　7、鹵素燈照明

　　8、即時生成量測報告的便捷性。運用搭載的MicrosoftWord，Excel可以簡單輕松得到制作報告

　　9、多種修正作用。基材修正、已知樣本修正、人工輸入修正

　　10、膜厚儀搭載了電動Ｘ－Ｙ移動平臺

　　顯微分光膜厚儀廣泛應用于各種薄膜、涂層光學常數(nandk)和厚度的精確測量，設備分為在線和離線兩種工作模式，操作便捷，幾秒鐘內即可完成測量和數據分析，USB連接計算機控制；薄膜表面或界面的反射光會與從基底的反射光相干涉，干涉的發生與膜厚及折光系數等有關，因此可通過計算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無損、精確且快速的光學薄膜厚度測量技術，我們的薄膜測量系統采用光干涉原理測量薄膜厚度。

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